臭氧檢測儀主要由低壓紫外燈，光波過濾器、入射紫外光反射器、臭氧吸收池、樣品光電傳感器、采樣光電傳感器、輸出顯示、電路部件構(gòu)成。
臭氧檢測儀采用紫外線吸收法的原理，用穩(wěn)定的紫外燈光源產(chǎn)生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許波長253.7nm通過。經(jīng)過樣品光電傳感器，再經(jīng)過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經(jīng)過數(shù)學(xué)模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
主要根據(jù)臭氧對254nm波長的紫外光存在*大吸收，并由蘭伯特-比爾定律光強與濃度的對數(shù)值成正比原理設(shè)計而成，采用了經(jīng)典的雙光路系統(tǒng)，精度達±0.1mg/L，測量范圍由0.1~200mg/L。適用于高濃度的臭氧氣體測量。用于臭氧發(fā)生器出口的濃度測量，可連續(xù)在線檢測臭氧發(fā)生器出口管道中臭氧濃度。主要用于連續(xù)檢測各種工業(yè)環(huán)境下的臭氧氣體，也可用于檢測運行中的管道、容器等環(huán)境的臭氧氣體。
